บล็อกเป้าหมายไทเทเนียม

สิ่งสกปรกในของแข็งของบล็อกเป้าหมายไทเทเนียมและออกซิเจนและความชื้นในรูขุมขนเป็นแหล่งหลักของการปนเปื้อนในภาพยนตร์ที่สะสม เป้าหมายสำหรับแอพพลิเคชั่นที่แตกต่างกันมีข้อกำหนดที่แตกต่างกันสำหรับเนื้อหาที่แตกต่างกัน ตัวอย่างเช่นเป้าหมายอลูมิเนียมบริสุทธิ์และอลูมิเนียมอัลลอยด์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับเนื้อหาโลหะอัลคาไลและเนื้อหาองค์ประกอบกัมมันตรังสี

เพื่อลดรูขุมขนในของแข็งเป้าหมายและปรับปรุงประสิทธิภาพของฟิล์มสปัตเตอร์เป้าหมายมักจะต้องมีความหนาแน่นสูง ความหนาแน่นของเป้าหมายไม่เพียง แต่ส่งผลกระทบต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังมีผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและแสงของฟิล์ม ยิ่งความหนาแน่นของเป้าหมายสูงขึ้นเท่าใดการแสดงของภาพยนตร์ก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น นอกจากนี้การเพิ่มความหนาแน่นและความแข็งแรงของเป้าหมายช่วยให้เป้าหมายสามารถทนต่อความเครียดจากความร้อนของกระบวนการสปัตเตอร์ได้ดีขึ้น ความหนาแน่นยังเป็นหนึ่งในตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพที่สำคัญของวัสดุเป้าหมายขนาดเกรนและการกระจายขนาดของเกรน
โดยปกติแล้วเป้าหมายคือโครงสร้าง polycrystalline ขนาดเกรนอาจมาจากไมครอนถึงมิลลิเมตร สำหรับเป้าหมายชนิดเดียวกันอัตราการสปัตเตอร์ของเป้าหมายที่มีธัญพืชละเอียดนั้นเร็วกว่าเป้าหมายที่มีธัญพืชหยาบ และการกระจายความหนาของฟิล์มที่สะสมโดยการสปัตเตอร์ของเป้าหมายที่มีความแตกต่างเล็กน้อยในขนาดเกรน (การกระจายแบบสม่ำเสมอ) มีความสม่ำเสมอมากขึ้น